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반도체 전공정장비 Semiconductor frontend processing equipment. 1
반도체 전공정장비 Semiconductor frontend processing equipment. 1
- 자료유형
- 단행본
- ISBN
- 9788980006991 (v.1) 93560 : \22000
- 청구기호
- 569.4 이68반
- 저자명
- 이인호
- 서명/저자
- 반도체 전공정장비 Semiconductor frontend processing equipment. 1 이인호 [외] 공저
- 원서명
- [표제머리위] NCS 학습 모듈 적용 도서
- 발행사항
- 서울 : D.B.Info, 2019
- 형태사항
- 367 p. : 삽화 ; 26 cm
- 주기사항
- 공저자: 이현배, 김진석, 김용태, 황성진, 원영진, 성홍석, 김덕영
- 서지주기
- 참고문헌 수록
- 기타저자
- 이현배
- 기타저자
- 김진석
- 기타저자
- 김용태
- 기타저자
- 황성진
- 기타저자
- 원영진
- 기타저자
- 성홍석
- 기타저자
- 김덕영
- 기타저자
- Yi, In-ho
- 기타서명
- Pandoch‘e chŏn kongjŏng changbi. 1
- 가격
- \22000
- Control Number
- ansan:98055
- 책소개
-
반도체 생산 공장에서 운영되고 있는 첨단의 반도체 장비가 최적의 운영상태가 되도록 하기 위하여 반도체 장비를 유지/점검하고, 고장을 방지하기 위한 사전 예방활동 등을 수행하며 나아가 장비를 직접 운용·조립하는 업무 등을 수행할 수 있도록 실무 지식 및 기술에 관한 이론과 실습으로 구성된 교재이다.
반도체 전공정장비 1 교과는 반도체 생산순서 중 앞부분에 위치하는 노광(포토)공정, 트랙공정, 식각(에칭(공정), 에싱공정, 그리고 각 단계마다 생산품의 이상 유무를 판단하는 측정장비 등 산업체에서 사용되는 중요 반도체 장비의 실무를 익힐 수 있도록 구성하였다.