자료유형  

 단행본

ISBN  

9788980006984 93560 : ￦13,000

청구기호  

569.4 임76반

저자명  

임준우

서명/저자  

반도체 공정장비 개론 / 임준우 [외] 공저.

원서명  

[대등표제]Basic of Semiconductor Processing Equipment

발행사항  

서울 : 복두출판사, 2019.

형태사항  

216 p : 삽도 ; 26 cm.

주기사항  

공저자: 홍상훈, 허영헌, 임승하, 성홍석, 김덕영

서지주기  

참고문헌 : p. 216

키워드  

반도체공정장비

기타저자  

홍상훈

기타저자  

허영헌

기타저자  

임승하

기타저자  

성홍석

기타저자  

김덕영

가격  

\13000

Control Number  

ansan:98052

책소개  

『반도체 공정장비 개론』은 반도체 생산 공장에서 운영되고 있는 반도체 장비가 최적의 운영상태가 되도록 하기 위하여 반도체 공정에 대한 전반적인 이해와 장비에 대한 운용 조립하는 업무 등을 수행할 수 있도록 실무 지식 및 기술에 관한 이론과 실습으로 구성되어 있다.