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반도체 장비 재료 = Materials of semiconductor equipment
반도체 장비 재료 = Materials of semiconductor equipment
- 자료유형
- 단행본
- ISBN
- 9791186333402 93560 : \14000
- 청구기호
- 569.41 이44반
- 저자명
- 이병철
- 서명/저자
- 반도체 장비 재료 = Materials of semiconductor equipment / 이병철 ; 김덕영 ; 성홍석 공저
- 발행사항
- 서울 : 복두출판사, 2019
- 형태사항
- 229 p. : 삽화 ; 26 cm
- 서지주기
- 참고문헌: 각 장 권말 수록
- 일반주제명
- 반도체[半導體]
- 일반주제명
- 반도체 재료[半導體材料]
- 기타저자
- 김덕영
- 기타저자
- 성홍석
- 가격
- \14000
- Control Number
- ansan:98048
- 책소개
- ▶이 책은 반도체 장비 재료를 다룬 이론서입니다. 반도체 장비 재료의 기초적이고 전반적인 내용을 학습할 수 있도록 구성했습니다.