008071011s2005 ulk 000a kor
■020 ▼a8931531494
■090 ▼a530.961▼b전73ㅂ
■1001 ▼a前田和夫
■24510▼a반도체 제조장치 입문▼d前田和夫 저▼e임종성 역
■260 ▼a서울▼b성안당▼c2005.
■300 ▼a211 p.▼c26 cm.
■50000▼a前田和夫의 일본음은 '마에다 카즈오'임
■50710▼tはじめての半導體製造製置
■653 ▼a반도체▼a제조장치▼a입문
■7001 ▼a임종성
■7001 ▼a전전화부
■740 ▼aSemiconductor manufacturing Equipment
■9500 ▼b\15000