자료유형  

 단행본

ISBN  

8931531494

청구기호  

530.961 전73ㅂ

저자명  

前田和夫

서명/저자  

반도체 제조장치 입문 / 前田和夫 저 ; 임종성 역

발행사항  

서울 : 성안당, 2005.

형태사항  

211 p. ; 26 cm.

주기사항  

前田和夫의 일본음은 '마에다 카즈오'임

원저자/원서명  

はじめての半導體製造製置

키워드  

반도체 제조장치 입문

기타저자  

임종성

기타저자  

전전화부

기타서명  

Semiconductor manufacturing Equipment

가격  

\15000

Control Number  

ansan:39651